应满足具体产品生产工艺要求；地面应平整、耐磨、易清洗，不易积聚静电，避免眩光，不开裂等；国内外对工业产品用洁净室地面都采用多种形式，目前主要常用洁净室地面有水磨石地面、涂布型地面、粘贴性地面和金属隔珊通风地板等。

1、水磨石地面具有整体性好、光滑、耐磨、不易起尘、容易清洗、防静电、无弹性等特点，但因受实际材料和施工质量容易失控等问题，在电子产品生产中较少使用，比较适用于食品、化妆品、普通原料药工业。

2、涂布型地面又分为聚氨酯涂料和环氧树脂或聚酯树脂砂浆、胶泥地面。聚氨酯涂料在室温下干燥固化，同金属、混凝土等有良好的附着力、易与施工；具有表面光洁、弹性好、易于清洗，耐水、奶油、耐腐蚀和耐磨等。在环氧或聚酯树脂中加入硬化剂、颜料等，采用涂层施工法或流延试工法（即自流平）或胶泥施工法；具有施工方便，耐腐蚀、耐水、机械强度好，耐冲击，表面洁净美观，若添加防静电材料，导电性能好等，是目前工业产品用在洁净室的常用地面。

3、粘贴性地面有聚氯乙烯软板、聚氯乙烯半硬板等，常用的有板材和卷材形式。具有一定的弹性，较耐磨不起尘、易清洗、耐腐蚀、防静电、较美观等，但整体性差，接缝和粘贴施工质量失控后，影响使用效果，适用于电子、精密制造一般洁净室，制药工业使用的较少。

4、金属隔珊通风地板用于垂直单项流洁净室作为回风隔栅使用。一般采用多孔板，应用是由若干活动的单元穿孔办拼接而成，配置于相应的支撑结构上，多孔板的数量、开孔率和安装位置应根据单项流洁净室的气流速度、风量确定。通常多孔板的开孔率约为6%~40%。主要适用于电子工业、精密制造工业、宇航工业的别洁净室。